Ενσωματωμένος μετρητής πάχους και πυκνότητας επιφάνειας CDM

Εφαρμογές

Διαδικασία επίστρωσης: ανίχνευση μικρών χαρακτηριστικών του ηλεκτροδίου σε απευθείας σύνδεση· κοινά μικρά χαρακτηριστικά του ηλεκτροδίου: απώλεια ισχύος λόγω διακοπών (καμία διαρροή του συλλέκτη ρεύματος, μικρή διαφορά γκρι με την κανονική περιοχή επίστρωσης, αστοχία αναγνώρισης CCD), γρατσουνιά, περίγραμμα πάχους της περιοχής αραίωσης, ανίχνευση πάχους AT9 κ.λπ.

Στείλτε μας email

Λεπτομέρειες προϊόντος

Ετικέτες προϊόντων

Αρχές μέτρησης

Αρχές μέτρησης επιφανειακής πυκνότητας

Μέθοδος απορρόφησης ακτίνων Χ/β

Αρχές μέτρησης πάχους

Συσχέτιση και τριγωνοποίηση με λέιζερ

Τεχνικά χαρακτηριστικά δοκιμών CDM

Σενάριο 1: Υπάρχει κενό/έλλειμμα πλάτους 2 mm στην επιφάνεια του ηλεκτροδίου και η μία άκρη είναι παχύτερη (μπλε γραμμή όπως φαίνεται παρακάτω). Όταν η κηλίδα ακτίνας είναι 40 mm, η επίδραση του μετρούμενου αρχικού σχήματος δεδομένων (πορτοκαλί γραμμή όπως φαίνεται παρακάτω) φαίνεται προφανώς μικρότερη.

Σενάριο 2: δεδομένα προφίλ δυναμικής αραίωσης περιοχής πλάτους δεδομένων 0,1 mm

Χαρακτηριστικά λογισμικού

Τεχνικές παράμετροι

Ονομα	Ευρετήρια
Ταχύτητα σάρωσης	0-18m/min
Συχνότητα δειγματοληψίας	Πυκνότητα επιφάνειας: 200 kHz· πάχος: 50 kHz
Εύρος μέτρησης πυκνότητας επιφάνειας	Πυκνότητα επιφάνειας: 10~1000 g/m²· πάχος: 0~3000 μm·
Επανάληψη μέτρησης ακρίβεια	Πυκνότητα επιφάνειας: Ολοκλήρωση 16s: ±2σ: ≤±αληθής τιμή * 0,2‰ ή ±0,06g/m²; ±3σ:≤±πραγματική τιμή * 0,25‰ ή +0,08g/m²; Ολοκλήρωση 4s: ±2σ: ≤±αληθής τιμή * 0,4‰ ή ±0,12g/m²; ±3σ: ≤±αληθής τιμή * 0,6‰ ή ±0,18g/m²;Πάχος: Ζώνη 10 mm: ±3σ: ≤ ± 0,3μm; Ζώνη 1 mm: ±3σ: ≤±0,5μm; Ζώνη 0,1 mm: ±3σ: ≤±0,8μm;
Συσχέτιση R2	Πυκνότητα επιφάνειας >99%· πάχος >98%·
Σημείο λέιζερ	25*1400μm
Κατηγορία ακτινοπροστασίας	Εθνικό πρότυπο ασφαλείας GB 18871-2002 (εξαίρεση από την ακτινοβολία)
Διάρκεια ζωής ραδιενεργών πηγή	Ακτίνες β: 10,7 έτη (χρόνος ημιζωής Kr85). Ακτίνες Χ: > 5 έτη
Χρόνος απόκρισης μέτρησης	Πυκνότητα επιφάνειας < 1ms; πάχος < 0,1ms;
Συνολική ισχύς	<3kW